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2002年12月17日 中韩合资沈阳芯源先进半导体技术有限公司由中科院沈阳自动化所发起成立。
2004年7月 首台Track产品出厂销售至中电集团13所。
2005年8月 开辟8寸凸点封装新领域,产品销售到国内最大封装厂:江阴长电。
2006年10月 辽宁省发改委下属科发公司出资1000万元,接手韩国STL公司,成为芯源公司第二大股东,芯源公司成为内资企业,更名为千赢国际娱乐注册。
2007年5月 国内首台12寸产品销售应用,实现了国产IC装备在晶片尺寸和新工艺上的重大突破。
2008年12月 承担了国家重大科技专项“凸点封装涂胶显影、单片湿法刻蚀设备的开发与产业化”项目。
2010-2011年 公司抓住LED产业大发展的机遇开始快速增长,年销售额达到5000万元。
2012年3月 沈阳芯源申报的国家重大科技专项“300mm晶圆匀胶显影设备研发”项目获得立项批复,项目总投资2亿元,获国拨经费支持8700万元。
2013年5月 芯源公司取得重大突破,高端封装喷胶设备批量销售到台湾市场,用于苹果手机指纹识别器件生产。
2013年9月 芯源公司新厂房建成启用。新厂房建筑面积7300平方米,其中净化间和装配间2200平方米。

2015年6月 芯源公司购置的国际第一大光刻机供应商ASML公司的AT1100B TwinScan 12英寸主流量产型光刻机进厂安装调试,并于同年12月完成验收。

2015年8月 芯源公司自主研发的前道堆叠式涂胶显影机获得武汉新芯(XMCPO用于其3D NAND新工艺研发。

2016年4月 沈阳芯源公司承担的国家02科技重大专项“300mm晶圆匀胶显影设备研发”项目通过任务与财务全面验收。

2016年6 芯源公司主持制定的行业标准《喷雾式涂覆设备通用规范》正式颁布实施。

2016年6月 芯源公司20154季度批量销售至台湾大客户的20余台适用于高端封装领域的单晶圆处理设备,按客户要求分期分批到货,全部通过验收并转入批量生产。

2017年7月 公司第600台设备销售出厂。