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  • 产品名称: KS-L100-2C直线型全自动匀胶机
  • 基片尺寸: 2”-4”
  • 适用材料: 蓝宝石/硅
  • 适用工艺: LED芯片制造

  

 用于2″4″标准圆形基片匀胶工艺。

1. 整机采用框架结构,盒站单元、提升器单元、传片单元、匀胶单元、热处理单元、控制系统、光刻胶供应系统及排液系统等组成。

2. 工作方式为自动完成匀胶工艺加工过程。

 

片盒

热盘

热盘

匀胶单元

机械手2

机械手1

片盒

热盘

热盘

匀胶单元

基片尺寸:Ф50mm~Ф100mm

PR类型:正胶/ 负胶
PR粘稠度:低粘度<100cp / 高粘度<10,000cp

PR 供应:气动计量泵/ 电动计量泵
主轴转速:Max.5,000rpm
度:Max.30,000rpm/s
匀胶单元:Max.2个独立滴胶嘴 
热盘单元:50-180℃ 

可选单元:FFUCP ADEBR etc.
外型尺寸:W1200×D1300×H1900 (mm)

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