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  • 产品名称: KS-F300-2C2D/4C/4D 300mm堆叠式涂胶显影机
  • 基片尺寸: 300mm
  • 适用材料: -
  • 适用工艺: 前道90nm光刻涂胶显影工艺

 

适用用于前道300mm规模生产线 。满足90nm光刻的涂胶显影工艺。

1.堆叠式结构,容纳spin单元数量最大为4,包括2个涂胶单元和2个显影单元。容纳热盘塔数量最大为2,容纳热处理单元数量最大为16。每个涂胶单元最多可以容纳4种光刻胶。

2.最高产能达到80WPH

3.小占地面积,高可靠性,高稳定性,易于维护,低CoO

4.客制化开发。

前道大生产线