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  • 产品名称: KS-L150-2D直线型全自动显影机
  • 基片尺寸: 4”-6”
  • 适用材料: 砷化镓 / 碳化硅/ 氮化镓 / 硅
  • 适用工艺: 功率芯片制造

适用于4″、6″标准圆形基片显影工艺。

  1.整机采用框架结构,主要由盒站单元、提升器单元、传片单元、显影单元、热处理单元、控制系统、显影液供应系统及排液系统等组成。

  2.工作方式为自动完成显影工艺加工过程。

片盒

热盘

热盘

显影单元

机械手2

机械手1

片盒

热盘

热盘

显影单元

 
 

基片尺寸:Ф100mm~Ф150mm
显影液:正胶显影液(弱碱性) / 正胶显影液(有机类)
主轴转速:Max.5,000rpm
加 速 度:Max.30,000rpm/s
显影单元:Max.2个独立滴液嘴 
热盘单元: 50℃-180℃ 
可选单元:FFU,THC, BSR etc.
外型尺寸:W1200×D1300×H1900 (mm)

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