您现在的位置:首页 >> 产品技术 >> 清洗设备 >> KS-L200-2CL 全自动清洗机
  • 产品名称: KS-L200-2CL 全自动清洗机
  • 基片尺寸: 50mm~200mm
  • 适用材料: -
  • 适用工艺: 满足0.35µm以上工艺制程

 轨道式结构,使用毛刷,高压水,超音波配合工作对芯片进行清洗,满足0.35µm以上工艺制程.

基片尺寸:50mm200mm

颗粒清除率: 0.5µm以上≥95%    0.3µm以上≥90%

主轴转速:Max.5,000rpm

加速度:Max.20,000rpm/s

高压水压力:Max.10MPa

外形尺寸:W1640×D1040×H1810(㎜)

先进封装