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  • 产品名称: KS-F300-6C6D 300mm堆叠式涂胶显影机
  • 基片尺寸: 300mm
  • 适用材料: -
  • 适用工艺: 前道90nm光刻涂胶显影工艺

用于前道300mm规模生产线,满足90nm光刻的涂胶显影工艺。
1.堆叠式结构,容纳spin单元数量最大为12,包括6个涂胶单元和6个显影单元。容纳热盘塔数量最大为6,容纳热处理单元数量最大为40。每个涂胶单元最多可以容纳8种光刻胶。
2.最高产能达到150WPH。
3.小占地面积,高可靠性,高稳定性,易于维护,低CoO。
4.客制化开发。
 

W5200×D2400×H2300 (mm)
前道大生产线