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  • 产品描述:  适用于3”,5”,7”标准光刻板表面刷洗工艺1. 设计精巧,手动上下片自动完成清洗。2. 工艺单元灵活选配,配备高压水、常压水、毛刷、超声清洗等单元,有效去除残留光刻胶及0.5um以上Particle。3. 人机交互接口,操作灵活,维护方便。
  • 产品描述:  轨道式结构,使用毛刷,高压水,超音波配合工作对芯片进行清洗,满足0.35µm以上工艺制程.
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